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真空镀膜用电子枪、离子源及成套设备自动控制系统
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电子束偏转角270度,灯丝不易污染,适合镀制多层膜;使用永磁体构成偏转磁场,避免失磁造成意外损失;合理的磁场分布,电子束垂直入射,蒸发面平整不扎小坑;蒸发氧化物及金属效果非常好;不用特殊衬塌,就可直接蒸发铝、镍;拆装方便,更换灯丝简单易行;
高压、束流高度稳定,无漂移;快速灭弧装置可减少拉弧对蒸发过程中的影响;有各种远程控制功能,用来接收控制中心命令或对相关参数以及状态进行监测;模块化电路设计,各部分电路相对独立,使用接插件互连,维修更换非常方便;多路连锁保护功能,确保电源不易受损,更保护操作人员自身安全;灯丝变压器在电源柜内,不占用真室下面空间;底部有脚轮和垫脚,方便移动和固定;
采用专用真空密封插座;采用不锈钢安装密封座;
无氧铜导电芯;陶瓷管绝缘;保护套管材料为聚四氟乙烯,
堆盘可定制穴位、环形、穴位+香蕉形;采用轴上水结构;步进电机驱动,同步带连接;配套堆控制器,上位机(或PLC)可通过IO口或RS485通讯来控制堆锅旋转定位;
在OEBG-103电子枪发射器中的零件代号为:03-4
在OEBG-103电子枪发射器中的零件代号为:03-11。
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