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真空镀膜用电子枪、离子源及成套设备自动控制系统
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电子束偏转角270度,灯丝不易污染,适合镀制多层膜;
使用永磁体构成偏转磁场,避免失磁造成意外损失;
合理的磁场分布,电子束垂直入射,蒸发面平整不扎小坑;
蒸发氧化物及金属效果非常好;不用特殊衬塌,就可直接蒸发铝、镍;
拆装方便,更换灯丝简单易行;
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