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真空镀膜用电子枪、离子源及成套设备自动控制系统
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高压、束流高度稳定,无漂移;
快速灭弧装置可减少拉弧对蒸发过程中的影响;
有各种远程控制功能,用来接收控制中心命令或对相关参数以及状态进行监测;
模块化电路设计,各部分电路相对独立,使用接插件互连,维修更换非常方便;
多路连锁保护功能,确保电源不易受损,更保护操作人员自身安全;
灯丝变压器在电源柜内,不占用真室下面空间;
底部有脚轮和垫脚,方便移动和固定;
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