产品中心
瓷柱
在OEBG-103电子枪发射器中的零件代号为：03-11。
瓷板
在OEBG-103电子枪发射器中的零件代号为：03-4
旋转坩埚
堆盘可定制穴位、环形、穴位+香蕉形； 采用轴上水结构；步进电机驱动，同步带连接； 配套堆控制器，上位机（或PLC）可通过IO口或RS485通讯来控制堆锅旋转定位；
高压电极
无氧铜导电芯； 陶瓷管绝缘； 保护套管材料为聚四氟乙烯
低压电级
采用专用真空密封插座； 采用不锈钢安装密封座；
电子枪电源
高压、束流高度稳定，无漂移； 快速灭弧装置可减少拉弧对蒸发过程中的影响； 有各种远程控制功能，用来接收控制中心命令或对相关参数以及状态进行监测； 模块化电路设计，各部分电路相对独立，使用接插件互连，维修更换非常方便； 多路连锁保护功能，确保电源不易受损，更保护操作人员自身安全； 灯丝变压器在电源柜内，不占用真室下面空间； 底部有脚轮和垫脚，方便移动和固定；
电子枪
电子束偏转角270度，灯丝不易污染，适合镀制多层膜； 使用永磁体构成偏转磁场，避免失磁造成意外损失； 合理的磁场分布，电子束垂直入射，蒸发面平整不扎小坑； 蒸发氧化物及金属效果非常好；不用特殊衬塌，就可直接蒸发铝、镍； 拆装方便，更换灯丝简单易行；
服务热线
010-8888888
